典型应用
更新时间:2024-10-07 16:47:35
半导体CMP抛光液行业是一个在半导体制造过程中至关重要的领域,主要涉及氧化铈(去除瑕疵和氧化物)、氧化铝(去除粗糙层)、氧化硅(辅助成分或添加剂)等多种材料的应用。
CMP抛光液,全称为化学机械抛光液,是一种在半导体工业中广泛应用的抛光材料。它主要由磨料、表面活性剂、氧化剂和其他添加剂组成,用于在化学机械抛光过程中对硅片进行抛光和表面精磨。CMP抛光液通过化学和机械的共同作用,实现对硅片表面的高度平整化和精确加工,对半导体芯片的制造质量和性能具有重要影响。